对袋式除尘器而言，静电除尘器是利用强电场使气体电离，即产生电晕放电，电晕放电必定会产生臭氧，特别是火花放电时更为严重。不存在臭氧氧化滤料导致滤料失效的问题，但是电袋复合式除尘器臭氧氧化滤料的现象是存在的，并且对滤袋的使用寿命有很大的影响。
设计时会用最佳的火花放电频率和最佳的电压控制，但每分钟火花放电30-70次，产生较多的臭氧。臭氧很不稳定，在高温和一定湿度下易与烟气中其它成分迅速反应（因而很难单独测到O3的存在），特别与NO、SO2反应生成NO2、SO3，而NO2、SO3侵蚀性强氧化剂，对PPS滤袋有很强的腐蚀性，SO3还提高酸露点温度，烟温低于露点温度时结露造成酸腐蚀。反应式如下：
NO+O3=NO2+O2
SO2+ O3=SO3+O2
